1μm Металлические фильтрующие среды для очистки газовых процессов полупроводников --- Изготовление пластин с управлением AMC

1 мкм металлический фильтрНаномасштаб)для очистки газовых процессов на полупроводниках Тип продукции: Ультратонкие короткие волокна из нержавеющей стали 316L Диаметр волокна: 1um/1.5um/2um Длина резки: 80-100 мм Химический состав сырья ((Wt%)) Элементы В Да, да. Мн Ни. КР Мо S П Стандартный ≤ 0.03 ≤ 1.00 ≤ 2.00 10 ~ 14 16 ~ 18 2 ~ 3 ≤ 0.03 ≤ 0.045 Стоимость 0.028 0.56 0.5 10.85 16.97 2.1 0.003 0.027 В полупроводниковом производстве, поддержание сверхвысокой чистоты процесса газов имеет решающее значение для предотвращения дефектов и обеспечения высокой урожайности.Металлические фильтрующие среды играют важную роль в очистке газа, удаляя загрязняющие частицы и одновременно способствуя контролю молекулярного загрязнения воздуха.который необходим для передового изготовления пластинок. Ключевые особенности и преимущества Высокоэффективная фильтрация (1 мкм удержания) Захватывает субмикронные частицы, которые могут вызывать дефекты в процессах фотолитографии, гравировки и осаждения. Уменьшает риск загрязнения поверхности пластины, улучшая урожайность. Химически инертный и устойчивый к коррозии Изготовлены из высокочистойиз нержавеющей стали (316L), никеля или синтерированных сплавовдля совместимости с агрессивными газами (например, HF, HCl, NH3). Противостоит выбросу газов, предотвращая дополнительное загрязнение. Способность управления AMC Некоторые передовые металлические фильтры включаютповерхностные обработки или покрытия(например, пассивация, электрополировка) для минимизации адсорбции/десорбции летучих органических веществ или кислот. Помогает встретитьсяSEMI F21 AMC класс 1Требования для чувствительных процессов, таких как литография EUV. Устойчивость к высокой температуре и давлению Устойчивая производительность в суровых условиях (до 500 °C или выше для некоторых сплавов). Подходит дляКВД, диффузия и имплантация ионовГазовые трубы. Долгий срок службы и очищаемость Повторное использование после очистки (ультразвуковые, химические или термические методы), снижение стоимости владения. Дизайн низкого давления для энергоэффективного потока газа. Приложения в производстве полупроводников Доставка газа сверхвысокой чистоты (UHP)(N2, Ar, H2, O2, и т.д.) Процессы гравирования и осаждения(CVD, PVD, ALD) Фотолитография(окружающая среда с чувствительными к AMC EUV/DUV) Насыщенный газ и фильтрация в пункте использования (PoU) Почему металлические фильтры лучше, чем альтернативы? Высокая долговечностьпротив полимерных фильтров (которые могут разлагаться и выделять частицы). Никакого выпадения волоконв отличие от традиционных фильтров HEPA/ULPA. Лучшее смягчение AMCпо сравнению со стандартными фильтрами твердых частиц. Соответствие и стандарты SEMI F20(Управление твердыми частицами) SEMI F21(Классификация AMC) ISO 14644-1(Стандарты чистых помещений) Заключение 1 мкм металлические фильтрующие средыявляется надежным раствором для очистки полупроводниковых газов, сочетающимфильтрация частиц, контроль AMC и химическая устойчивостьчтобы удовлетворить строгие требования передового изготовления пластинок.